AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1pptm间。
测量管形式不一，常见的有以下几种。Ⅰ.直管式。加工简单，易制造，不易启振，故管壁需薄一点，使用寿命较短。Ⅱ.弯管式。容易启振，管壁可厚一点，机械加工复杂些，振动频率要选大一点。Ⅲ.单管式。不用分流，零点稳定，机械加工简单，但易受外来振动影响。Ⅳ.双管式。不受外来振动干扰，分流不均匀会造成零点变化，机械加工也复杂些。直接质量流量测量与被测介质温度、压力、密度、黏度变化无关。对各种流体适应性强。
-8℃机型中当温度低于设定温度2℃时，制冷机停止工作，此时温度开始上升，当温度达到设定值以上2℃且距停机时间达到延时时间后，制冷机重新工作。打开循环开关待温度达到设定温度后，即可打开循环开关，对外提供冷却液。打开搅拌开关在试验中，如需搅拌，请先将磁力搅拌子放到储液槽底部或将磁力搅拌子放入烧瓶，再把烧瓶放到储液槽内（烧瓶底与储液槽底之间距离应在25㎜以内），然后按下搅拌开关，其相应指示灯亮，顺时针调节调速旋钮达到用户所需速度。使用后先关闭需冷却的设备，然后依次关闭循环泵开关、搅拌开关、制冷机开关、电源开关，后拉下安全开关，拔下电源插头。如长时间不用，请放掉冷却液，用清水冲洗干净。日常维护为确保系统发挥佳制冷效率，除了必须保证仪器周围环境空气洁净外，还必须定期对冷凝器表面任何结尘进行检查和清扫，请按以下步骤操作：确认设备电源插头已拔掉。卸下设备进气通风网罩下边的两个螺钉，然后将网罩轻轻拉掉，然后将其移开。

发布时间：2024-09-29